半導體真空泵-廈門太星機電生產批發-半導體真空泵廠家
廈門太星機電有限公司
經營模式：商業服務
地址：廈門市集美區東安前占里19號之二
主營：真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線：0592-6800154
產品詳情
聯系方式
產品品牌：廈門太星機電
供貨總量：不限
價格說明：議定
包裝說明：不限
物流說明：貨運及物流
交貨說明：按訂單
有效期至：長期有效
半導體真空泵-廈門太星機電生產批發-半導體真空泵廠家
廈門真空泵維修,廈門真空泵,廈門螺桿真空泵
廈門太星機電有限公司擁有十多年真空行業經驗和銷售及維修工程師團隊組成，公司提供國外及國內廠家生產的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴散泵，水環真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測量，真空泵油及其備品備件。
通常擴散泵的性能是以極限真空、大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。
1.極限真空
如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機械泵的極限壓力，因此，油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。
2.大反壓強
大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強大值。如果前級泵所產生的壓強高于大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。
4.設置冷阱及低溫擋板的原因
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擴散泵的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。
油擴散泵致命的缺點就是泵油返流污染被抽系統。經過大量的研究，現代擴散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴散泵的返油率降得很低。所有的油擴散泵都存在一定程度的返流現象。返流的氣體是少量殘余的碳氫化合物。返流有兩個不同性質的來源：泵油分子朝向擴散泵頂噴咀的上方運動構成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發。利用好的鍋爐和噴咀設計，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對冷帽結構的改進，使主要返流大大降低。
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擴散泵維修保養對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言，硬玻璃烘烤溫度為400℃～450℃ ，軟玻璃為350℃～400℃ 。去氣時間視具體要求而定，一般1～2小時。去氣完后，真空度仍達不到要求，應使用電離計記P-t曲線，以判斷是否漏氣。亦可用、酒精等涂抹處，看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良，應進一步烘烤，加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去，則要考慮系統設計、安裝是否合理，有無死空間，放氣源多否，維修時是否帶進了臟物，被抽容器是否清潔等其他因素。
黃經理先生
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